1、干涉法
干涉法是利用光波干涉原理來測量表面粗糙度。
2、針描法
針描法是利用觸針直接在被測表面上輕輕劃過，從而測出表面粗糙度的Ra值。
3、比較法
比較法是車間常用的方法。將被測表面對照粗糙度樣板，用肉眼判斷或借助于放大鏡、比較顯微鏡比較；也可用手摸，指甲劃動的感覺來判斷被加工表面的粗糙度。此法一般用于粗糙度參數(shù)較大的近似評定。
4、光切法
光切法是利用"光切原理"來測量表面粗糙度。
測量工件表面粗糙度時，將傳感器放在工件被測表面上，由儀器內(nèi)部的驅動機構帶動傳感器沿被測表面做等速滑行，傳感器通過內(nèi)置的銳利觸針感受被測表面的粗糙度，此時工件被測表面的粗糙度引起觸針產(chǎn)生位移，該位移使傳感器電感線圈的電感量發(fā)生變化，從而在相敏整流器的輸出端產(chǎn)生與被測表面粗糙度成比例的模擬信號，該信號經(jīng)過放大及電平轉換之后進入數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)，DSP芯片將采集的數(shù)據(jù)進行數(shù)字濾波和參數(shù)計算，測量結果在液晶顯示器上讀出，也可在打印機上輸出，還可以與PC機進行通訊。